تعتمد وحدات تحمل الهواء على طبقة هواء رقيقة على مستوى الميكرون لتحقيق الارتفاع غير المتصل. طبقة الهواء رقيقة للغاية، والتموجات الصغيرة على السطح الأساسي لمنضدة الجرانيت سوف تغير توزيع فجوة الهواء بشكل مباشر، مما يؤدي إلى تقلب ضغط طبقة الهواء وصلابة الرفع غير المستقرة. العديد من شركات تكامل المعدات تقع بسهولة في سوء فهم عند تجميع وحدات حمل الهواء: فهم يركزون فقط على قراءة التسطيح لطاولة العمل في لحظة التسليم، متجاهلين التماثل والاستقرار على المدى الطويل للاستواء. حتى لو كانت دقة النقطة الواحدة تلبي المعيار، فإن التموجات السطحية غير المستوية ستتسبب في ارتعاش الوضعية وقفز الموضع عندما تتحرك الشريحة الحاملة للهواء بسرعة عالية، مما سيضر بشكل مباشر بأداء نظام الحركة على مستوى النانو بالكامل. لذلك، لا يمكن الحكم على استواء السطح الأساسي لطاولة العمل الحاملة للهواء من خلال مؤشر رقمي واحد فقط. وبدلاً من ذلك، فهو معيار شامل يجمع بين المواد وتكنولوجيا المعالجة والفحص الكامل للمنطقة. أنشأت مجموعة UNPARALLELED نظامًا خاصًا للتحكم في التسطيح لظروف العمل المتطابقة مع وحدات تحمل الهواء.
جوهر عملية تحمل الهواء هو الحفاظ على طبقة هواء مستقرة وموحدة على مستوى ميكرون. عادةً ما يكون سمك طبقة الهواء بضعة ميكرونات فقط. أي نتوء أو انخفاض محلي على سطح القاعدة سيغير حجم الفجوة. مؤشرات التسطيح لمنصات الجرانيت العادية تلبي في الغالب فقط احتياجات القياس الثابت وليست مناسبة لظروف عمل الحركة الديناميكية لمحامل الهواء. تتميز ركيزة طاولة العمل من الجرانيت الأسود UNPARALLELED® بكثافة تبلغ 3100 كجم/م3، وتمدد منخفض وتخميد عالي. تخضع المواد الخام لشيخوخة الحجر الخام مسبقًا لتحرير الضغط الداخلي الأصلي، مما يمنع التشوه البطيء للسطح المرجعي لطاولة العمل تحت الحمل طويل الأمد وتقلبات درجة الحرارة. فهو يضمن إمكانية الحفاظ على مؤشر التسطيح لفترة طويلة بشكل أساسي، بدلاً من تلبية المعيار مؤقتًا على المدى القصير.
بالنسبة لطاولات العمل الجرانيتية المجهزة بوحدات تحمل الهواء، فإن معيار التسطيح الأساسي هو أن يصل تسطيح السطح المرجعي لكامل المساحة إلى مستوى النانومتر، في حين يتم التحكم في التموج المحلي، ويتم التحكم بشكل صارم في انحراف المستوى داخل كل متر ضمن نطاق الميكرون. بالإضافة إلى التسطيح الإجمالي، يعد التموج السطحي المحلي للموجة القصيرة عنصر تقييم رئيسي لتطبيقات تحمل الهواء. يمكن أن يتم متوسط التموجات الطويلة واللطيفة بشكل معتدل بواسطة فيلم الهواء، ولكن التموجات الصغيرة قصيرة المسافة سوف تزعج بشكل مباشر مجال الضغط لفيلم الهواء وتتسبب في تقلب الارتفاع أثناء تحرك الشريحة. نقوم بإكمال عملية الطحن فائقة الدقة في ورشة عمل ذات درجة حرارة ثابتة ورطوبة ثابتة ومضادة للاهتزاز. أرضية الورشة أكثر سمكًا من 1000 مم ومجهزة بخنادق مقاومة للصدمات لعزل تداخل الاهتزاز الخارجي ومنع أخطاء التموج السطحي الناتجة عن الاهتزاز الأرضي أثناء الطحن. يتم اعتماد الشيخوخة المرحلية في المعالجة. يتم الحفاظ على قطعة العمل ثابتة بعد كل عملية طحن لتحرير إجهاد المعالجة وتجنب تشوه السطح الناتج عن تراكم الضغط.
تختلف طريقة فحص التسطيح أيضًا عن عمليات الفحص العشوائي التقليدية. بدلاً من قياس عدة نقاط قطرية فقط على سطح الطاولة، تم اعتماد مجموعة الشبكة الكاملة متعددة النقاط. تُستخدم مقاييس التداخل الليزرية ومقاييس الاتصال الهاتفي Mahr والمستويات الإلكترونية Swiss WYLER لقياس المسح المستمر للحصول على بيانات تضاريس كاملة لسطح العمل بأكمله وتقييم خطأ المستوى للمنطقة بأكملها. يمكن تتبع سلسلة القياس بأكملها إلى المعهد الوطني للمترولوجيا، وسيتم إصدار تقرير التفتيش مع شهادات التتبع الكاملة. وفقاً لتطبيقات معدات العملاء، يمكن تمييز درجات دقة مختلفة: يتم اعتماد معيار التسطيح الأساسي الفائق لطاولات العمل الحاملة للهواء للفحص البصري العادي؛ بالنسبة للمنصات الحاملة للهواء المتطورة المتطابقة مع أشباه الموصلات والطباعة الحجرية، سيتم تشديد التموج المحلي وتفاوتات المستوى بشكل أكبر لتلبية سيناريوهات تحديد المواقع النانوية.
تساعد تقنية الهيكل والسطح أيضًا على ضمان تأثير تشغيل محامل الهواء. إذا كان العملاء بحاجة إلى تطبيقه في ورش عمل نظيفة، فيمكن معالجة سطح طاولة العمل عن طريق الختم، والتخميل، وتلميع المرآة لإغلاق المسام الدقيقة للحجر، وتقليل ترسيب الجسيمات، وتقليل خشونة السطح، مما يمنع وسادة محمل الهواء من التعرض للخدش بواسطة الأسطح الخشنة وتجنب التداخل في تكوين فيلم الهواء. يمكننا أيضًا تحسين الهيكل الداعم لسطح الطاولة وفقًا لتخطيط وحدات تحمل الهواء لتوزيع الأحمال ومنع تدهور استواء القاعدة الناجم عن الإجهاد غير المتساوي بعد تجميع وحدات تحمل الهواء. إذا كان تخفيض الوزن مطلوبًا، فيمكن إجراء معالجة طوبولوجية للثقب خفيف الوزن لتقليل الوزن الذاتي على أساس ضمان الصلابة الشاملة دون الإضرار باستواء السطح المرجعي.
يتم تحديد استقرار نظام تحمل الهواء إلى حد كبير من خلال تجانس سطح قاعدة الجرانيت. من السهل تحقيق دقة عالية بنقطة واحدة، ولكن لتحقيق ارتفاع مستقر لفترة طويلة دون اهتزاز الوضع لوحدات تحمل الهواء، يلزم الدعم المشترك لضغط المواد المستقر وتكنولوجيا الطحن الدقيقة وفحص التضاريس للمنطقة الكاملة. يقوم نظام UNPARALLELED بالتحكم في التسطيح من خلال العملية برمتها بما في ذلك شيخوخة الحجر الخام، ومعالجة الطحن والفحص قبل التسليم، بحيث يمكن التحكم بشكل ثابت في تضاريس سطح طاولات العمل الجرانيتية. إنه يضمن فيلمًا هوائيًا موحدًا ومستقرًا لوحدات تحمل الهواء في ظل ظروف عمل الحركة الترددية عالية السرعة ويوفر معايير موثوقة لجميع أنواع منصات الحركة الخالية من الاحتكاك فائقة الدقة.